最先进的外壳组件通过最小化焊接面积来消除除气
全金属结构非常适合高温和动态压力应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了极高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard
III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温和动压应用
惰性和反应性气体
气柜和面板
阀组箱
挂钩
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用
产品规格
材料 滤膜 镍
外壳，端盖 低硫316L不锈钢
初始下游清洁度 ≤0.03 个颗粒/升（≤1 个颗粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等级 ≥0.0015 微米
颗粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm (Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psid) at 20°C (68°F)
Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid) @RT
Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 133.3 毫米（5.25 英寸）
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 滤芯
ENTEGRIS YY260103P 14381 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 16379 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WGFGMBRR4 12026
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 气动阀
Entegris WGPM0GGG2 13134 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 17868 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 气体过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 阀
entegris WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 阀
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 侦测器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 气动阀
ENTEGRIS YY260103N 17526 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 18139 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
Entegris CWFV0S1S3 19143 滤芯
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 15235 过滤器
Entegris WGFG02PR1 15957 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
Entegris YY5032PS1 20649 过滤器
Entegris SVTH01TQ1 20007 过滤器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 过滤器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2 21440 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 16378 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 20415 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 滤芯
Entegris WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 滤芯
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 滤芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 气动阀
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个） 17994 滤芯
ENTEGRIS WGFGT1PR1